铌酸锂(LiNbO3)是铌、锂和氧的化合物,是一种负晶体(n0>ne)。变形铌酸锂晶体是一种具有压电、铁电、光电、非线性光学和热电等多种性能的材料。
铌酸锂晶体自发极化大( 室温时 0. 70 C / m2 ) ,是目前发现的居里温度最高(1 210 °C ) 的铁电体 。 铌 酸锂晶体有两个特点尤其引人关注,一是铌酸锂晶体光电效应多,具有包括压电效应、电光效应、非线性光学 效应、光折变效应、光生伏打效应、光弹效应、声光效应等多种光电性能;二是铌酸锂晶体的性能可调控性强, 这是由铌酸锂晶体的晶格结构和丰富的缺陷结构所导致,铌酸锂晶体的诸多性能可以通过晶体组分、元素掺 杂、价态控制等进行大幅度调控。 此外,铌酸锂晶体原料丰富,能够制备高质量的大尺寸单晶,晶体的物理化学性能稳定,易于加工,光透过范围宽(0. 3 ~ 5 μm) ,具有较大的双折射( 约 0. 08@ 633 nm) ,而且容易 制备高质量的光波导,所以基于铌酸锂晶体的声表面波滤波器、光调制器、相位调制器、光隔离器、电光调Q开关、集成光学电路、图像存储、谐波产生、倍频器件、参量振荡、1064nm激光倍频、四频相位匹配器件等光电器件在电子技术、光通信技术、激光技术等领域中得到了广泛研究和实际应用。
随着第五代无线通信(5 G) 、微纳光子学、集成光子学以及量子光学等应用领域的突破性进展,铌酸锂晶体再次引起了 广泛的关注, 2017 年哈佛大学 Burrows甚至提出现在正在进入“ 铌酸锂谷” 时代。
掺杂MgO:LiNbO3晶体的抗损伤阈值比纯LiNbO3晶体高出一倍以上。
Product Parameters Lithium Niobate Wafers (White or Black)
Material | Optical Grade | SAW Grade | Optical grade SLN CLN |
Curie Temp | 1142±2.0℃
| 1142±0.7℃ |
Cutting Angle | X/Y/Z etc | X/Y/Z/Y36/Y41/Y64/Y128/etc | X/Y/Z etc
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Diameter/size | 2”/3”/4” | 3”/4”/6"LN wafer & 8"under R/D
| 2”/3”/4” ±0.03mm |
Tol(±) | <0.20 mm
| <0.20 mm ±0.005mm |
Thickness | 0.18 ~ 0.5mm or more
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Primary Flat
| 16mm/22mm /32mm /42.5mm /57.5mm |
TTV
| <3µm
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Bow | -30<bow<30
|
Warp | <40µm
|
Orientation Flat
| All available
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Surface Type
| Single Side Polished(SSP) /Double Sides Polished(DSP)
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Polished side Ra
| <0.5nm
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Back Side Criteria
| General is 0.2-0.5µm or as customized |
S/D | 40/20 or 20/10
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Edge Criteria | R=0.2mm or Bullnose
| R=0.2mm C-type or Bullnose |
Optical doped
| Fe/Zn/MgO etc for optical grade LN< wafers
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| Mg/Fe/Zn/MgO etc for optical grade LN< wafers per requested
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Refractive index | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm wavelength | general:5.9x10-11<s<2.0*10-10 at 25℃ | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm wavelength/prism coupler method. |
Wafer Surface Criteria | Contamination | None
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Particles ¢>0.3 µm
| <= 30 |
Scratch , Chipping
| None |
Defect | No edge cracks, scratches, saw marks, stains |