Item | Specification |
Material
| High Purity Monocystalline Al2O3 (≥99.996%) |
Orientation C to M | C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°; 0°± 0.1°(A-axis) |
Orientation Tolerance C to A | 0.00±0.1°
|
Primary Flat to A-plane(11-20) | A-plane ± 0.2° |
Diameter
| 50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm |
Thickness
| 420~440um, 640-660um,1300mm |
Flat Length | 16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm |
Edge profile
| R |
TTV | ≤5um |
BOW | 0~-10um
|
Warp | ≤15um |
Front Side Roughness
| <0.3nm |
LTV | ≤1.8um |
R Plane | R9 |
Back Side Roughness
| 0.8-1.2um |
Laser Mark | Back side |
Package | 25 pcs/cassette |
晶向:C向、M向、R向;单抛、双抛;
厚度:100um、280um、300um、350um、430um、500um、650um、1mm;
阐述:蓝宝石是氧化铝的单晶,是自然界里硬度第二的材料,仅次于钻石。蓝宝石具有良好的透光性,高强度、抗碰撞阻力,耐磨性,抗腐蚀及抗高温高压,生物相容性,可以做成各种形状的物体。是制作半导体光电子器件的一种理想衬底材料。
应用:蓝宝石单晶是一种优良的多功能材料。可以广泛应用于工业,国防和科研等多个领域(如耐高温红外窗口)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料。是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的先选基片(需要在蓝宝石基片上外延氮化镓膜层),也是重要的超导薄膜基片。